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壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向

簡要描述:Carrier.S100/200.xyRz.C,壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向
Carrier.S 系列,標準型

  • 產品型號:Carrier.Sxxx.xyRz.C
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-03-11
  • 訪  問  量:775

詳細介紹

壓電載物臺·高負載通孔型 Carrier.S100.xyRz.C

? 高負載·高速XY平面運動,Z軸旋轉設計,保證XY面內準直運動

 

 

兩維度 XY 掃描運動100 um, Z軸旋轉運動1 mrad;

閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm;

最大負載 5 kg;

針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決方案;

?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級;

 

壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向——詳細參數:

 


壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向——尺寸圖

壓電偏轉臺,高負載通孔型,XYRz方向

 

多場科技“壓電掃描臺·通孔型”解決方案包括Carrier.S 系列(標準型)和Carrier.SL 系列(輕量型)。Carrier.S & SL系列主要針對精密光學,半導體表征等應用場景,覆蓋載物臺“大行程·高精度·重負載”等需求,核心特點包括:

運動方式覆蓋線性運動 & 俯仰運動

X,Z,XY,XYZ & ZTT等運動形式全面支持

線性運動行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達到0.2 nm

超快運動響應 & 長時間疲勞測試

• 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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