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微納壓電高速掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空

簡要描述:SD15/30.x.C,微納壓電高速掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空
緊湊型 “SD系列“ 高動態(tài)系列

  • 產(chǎn)品型號:SD15/30.x.C
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-03-11
  • 訪  問  量:947

詳細(xì)介紹

壓電·高速單軸掃描運動 – SD15/30.x.C

? 高速掃描運動,電容閉環(huán)傳感,超高運動分辨率

 

 

X 方向運動范圍 15 um, 30 um;

外形尺寸, 62 mm x 40 mm x 13.5 mm, 80 mm x 40 mm x 13.5 mm;

閉環(huán)定位精度優(yōu)于 0.1 nm

電容位置傳感器;

高速運動響應(yīng);

支持高真空 (.HV) ,超高真空 (.UHV) 選件升級

 

微納壓電掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空——詳細(xì)參數(shù):

 

 

微納壓電掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空——尺寸圖

SD15.x.C

微納壓電掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空

SD30.x.C

 

微納壓電掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空

 

多場科技“壓電掃描臺·緊湊型”解決方案主要包含:

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列;

SD —— 高動態(tài)系列;

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應(yīng)用場景,支持電容閉環(huán)傳感,可選無磁/高真空/超高真空選件升級。

 

 

 

 

 

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